Relau tiub CVD (Pemendapan Wap Kimia)-dikenali sepenuhnya sebagai Relau Tiub Pemendapan Wap Kimia-adalah sejenis peralatan pemprosesan haba yang digunakan secara meluas dalam bidang sains dan kejuruteraan bahan. Kegunaan dan fungsi utamanya termasuk:
Pertumbuhan dan Pemendapan Bahan:
Dengan memasukkan campuran gas ke dalam relau, relau tiub CVD memudahkan penguraian gas pada suhu tinggi. Atom atau molekul yang terhasil kemudian mendepositkan ke substrat pepejal, dengan itu membolehkan fabrikasi filem nipis, nanopartikel, dan bahan termaju lain.
Pemprosesan Terma:
Selain pemendapan bahan, relau tiub CVD boleh digunakan untuk pelbagai rawatan terma-seperti pengkalsinan serbuk, pensinteran seramik,-percubaan suhu tinggi dan pemprosesan bahan am-merentasi pelbagai jenis bahan, termasuk seramik, logam, elektronik, kaca, bahan kimia dan komponen bahan binaan, bahan refraktori khas.
Penyediaan Filem Nipis:
Ini merangkumi penyediaan filem logam, filem semikonduktor, filem optik, dan bahan yang serupa. Dengan mengawal keadaan tindak balas dan bekalan bahan dengan tepat,-bahan filem nipis yang mempunyai sifat dan struktur tertentu boleh diperolehi.
Penyediaan Bahan Nano:
Relau membolehkan fabrikasi bahan nano seperti zarah nano dan wayar nano. Dengan melaraskan parameter tindak balas dan bahan substrat, bahan nano dengan morfologi dan dimensi yang pelbagai boleh disintesis.
Aplikasi Industri Semikonduktor:
Dalam industri semikonduktor,Relau tiub CVDmemainkan peranan penting dalam proses kritikal seperti pemendapan-filem nipis, pembersihan wafer dan rawatan permukaan.
Metalurgi serbuk:
Peralatan ini boleh digunakan dalam bidang metalurgi serbuk, di mana ia memudahkan pembentukan bahan logam atau seramik melalui tindak balas fasa-gas.
Penyediaan Bahan Optik:
Ia membolehkan sintesis bahan optik lutsinar, yang kemudiannya digunakan dalam fabrikasi peranti optik, salutan optik, dan komponen yang serupa.
Reka Bentuk Struktur:
Badan relau relau tiub CVD biasanya menampilkan struktur cangkerang-berganda.
Kipas penyejuk dipasang di dalam rongga antara cangkerang dalam dan luar untuk memudahkan kitaran pemanasan dan penyejukan yang cepat sambil memastikan suhu permukaan cangkerang relau kekal rendah.
Tiub relau itu sendiri biasanya dibina daripada-bahan ketulenan tinggi (seperti-korundum ketulenan tinggi).
Kedua-dua hujung tiub dimeterai menggunakan-bebibir keluli tahan karat vakum tinggi untuk memastikan keketatan gas-dan rintangan suhu tinggi-tinggi yang teguh.
Kawalan Suhu dan Suasana:
Sistem ini mampu mengawal dengan tepat kedua-dua suhu dalaman dan komposisi atmosfera dalam relau untuk memenuhi keperluan khusus pelbagai bahan dan protokol pemprosesan.
Ia dilengkapi dengan sistem kawalan aliran gas yang tepat (seperti meter aliran apungan manual atau-pengawal aliran jisim berketepatan tinggi) untuk memenuhi keperluan proses khusus yang dikaitkan dengan atmosfera perlindungan yang berbeza. Kecekapan Tinggi dan Penjimatan Tenaga:
Menggunakan-kecekapan tinggi,{1}}bahan lapisan relau penjimatan tenaga (seperti gentian alumina polihabluran) untuk meningkatkan kecekapan penggunaan tenaga.