Sistem PECVD Tiga Zon Pemanasan 1200C
Sistem PECVD Tiga Zon Pemanasan 1200C

Sistem PECVD Tiga Zon Pemanasan 1200C

SK2-CVD-12TPB4 ialah relau tiub untuk sistem PECVD, yang terdiri daripada bekalan kuasa RF 300W atau 500W, sistem aliran ketepatan berbilang saluran, sistem vakum dan relau tiub. Suhu yang biasa digunakan ialah 1100 darjah Celsius atau lebih rendah, dan ciri utamanya ialah suhu pemendapan yang rendah, kadar pantas, kualiti filem yang baik, lubang jarum yang lebih sedikit dan kurang terdedah kepada keretakan. Peranti yang sesuai untuk mengembangkan wayar nano atau menyediakan pelbagai filem nipis menggunakan kaedah CVD.
Hantar pertanyaan
Ciri

 

● Suhu maksimum RT-1200 darjah

● Split jenis relau, anda boleh membuka relau.

● Boleh memperkenalkan lebih daripada 2 saluran gas, dengan darjah vakum 10Pa menggunakan pam mekanikal dan bekalan kuasa RF 500W untuk meningkatkan isyarat.

● Bahan penebat gentian seramik alumina berkualiti tinggi

● Kejituan kawalan suhu ±1 darjah

● Dengan fungsi penggera lebih suhu

● Kipas penyejuk boleh mengurangkan suhu selongsong

 

Model

SK2-CVD-12TPB4

Dimensi: Panjang zon Pemanasan Standard (mm)

440mm

Dimensi: Diameter Tiub Standard (mm)

∮60mm

Suhu maks

1200 darjah, suhu kerja berterusan 1100 darjah.

Voltan(V)

220 1P

Jenis termokopel

K

Elemen pemanas

Wayar rintangan aloi HRE

Temp.Ketepatan

±1 darjah

Kadar pemanasan

0-30 darjah /min pelarasan percuma

Bahan ruang

Menggunakan bahan gentian mikrokristalin alumina berkualiti tinggi termaju

Struktur relau

Struktur penyejuk udara dua lapisan, suhu permukaan kurang daripada 60 darjah

Pengawal suhu

Instrumen kawalan suhu PID pintar, 30 segmen program, kawalan SSR, fungsi penalaan diri parameter PID; kenaikan suhu program, pemeliharaan haba program, penyejukan program

Bekalan kuasa RF 500W

Kuasa keluaran: 5-500W ±1 darjah

Kekerapan RF: 13.56MHz ±0.005%

Kuasa yang dipantulkan: sehingga 100W

Padanan: Automatik

Antara muka RF: 50Ω, jenis N

Penyejukan: penyejukan udara

Bekalan kuasa: AC 208-240V, 50/60HZ

Sistem aliran ketepatan 4 saluran gas

1. Kadar aliran skala penuh(5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500)ML/min. 10L/min.

2. Jenis injap: Injap solenold.

3. Kedudukan rehat injap: Biasanya tertutup.

4. Tekanan pembezaan: (50-300)kpa

5. Rintangan tekanan: 3mpa.

6. Suhu operasi: 5-45 darjah

7. Bahan: keluli tahan karat 316L.

Sistem vakum

5*10-3Pa

Sambung cepat KF25, belos keluli tahan karat, injap flapper manual dan bebibir, pam vakum

Sistem vakum yang lebih tinggi juga boleh dilengkapi secara pilihan.

image001

SELAMAT DATANG OEM/ODM

 

Aksesori Standard

 

Sarung tangan haba|Cangkuk pijar|Termokopel|Blok Tiub|Manual Pengguna |Alat|Pam vakum| Tiub kuarza |Flange |Gelang pengedap |Hos gas 10mm |Sokongan bebibir, Sistem gas, kuasa RF.

 

Pilihan

 

Zon pemanasan yang berbeza untuk pilihan anda;

Kawalan skrin sentuh LCD untuk dipilih

Port RS485/USB untuk menyambungkan komputer untuk dipilih.

 

Gambar terperinci untuk CVD-PECVD

 

image003
Bekalan kuasa RF 500W
image005
Sistem vakum
image007
Sistem aliran ketepatan 4 saluran gas

 

Permohonan

 

Peranti ini digunakan terutamanya untuk mengembangkan wayar nano atau menyediakan pelbagai pertumbuhan filem nipis menggunakan kaedah CVD.

 

Waranti

 

Waranti satu tahun dan sokongan teknikal sepanjang hayat

Petua istimewa:

1. Bahan habis pakai seperti elemen pemanas, tiub kuarza, pijar sampel, dll. tidak berada dalam tempoh jaminan.

2. Kerosakan yang disebabkan oleh penggunaan gas menghakis dan gas asid tidak dilindungi oleh waranti.

 

Cool tags: 1200c tiga zon pemanasan sistem pecvd, China 1200c tiga zon pemanasan sistem pecvd pengeluar, pembekal